标准编号：GB/T 13388-2009，标准状态：现行。
| 英文名称： | Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques |
| 替代情况： | 替代GB/T 13388-1992 |
| 中标分类： | 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合 |
| ICS分类： | 电气工程>>29.045半导体材料 |
| 采标情况： | MOD SEMI MF847-0705 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-06-01 |
| 首发日期： | 1992-02-19 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 主管部门： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 起草单位： | 有研半导体材料股份有限公司 |
| 计划单号： | 20065628-T-469 |
| 页数： | 12页 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-06-01 |
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