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SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法 电
2015-05-26   发表:

标准编号:SJ/T 11490-2015 ,标准状态:即将实施。SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法 电子行业标准(SJ)详细内容。 本标准规定了低位错密度砷化镓(GaAs)抛光片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法。

标准状态: 即将实施
发布部门: 中华人民共和国工业和信息化部
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
出版社: 工业和信息化部电子工业标准化研究院组织出版

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