标准编号:SJ/T 11491-2015 ,标准状态:即将实施。SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 电子行业标准(SJ)详细内容。 本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。
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