标准编号：SJ/T 11493-2015 ，标准状态：即将实施。SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 电子行业标准(SJ)详细内容。 本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。
| 标准状态： | 即将实施 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2015-04-30 |
| 实施日期： | 2015-10-01 |
| 出版社： | 工业和信息化部电子工业标准化研究院组织出版 |
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