标准编号：GB/T 16945-2009，标准状态：现行。 本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。

本标准代替GB/T16945-1997《电子工业用气体 氩》。

本标准与GB/T16945-1997相比主要变化如下:

---修改氩的适用范围(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);

---增加规范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);

---修改技术指标内容:增加一类纯度和杂质含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);

---修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);

---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法(见4.1.1);

---修改管道输送的氩抽样方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);

---增加氩的采样安全要求(见4.1.3);

---修改氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);

---增加其他方法测定总烃;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见4.3、4.4、4.5);

---修改水分的测定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);

---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。

本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。

本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。

本标准起草单位:北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。

本标准主要起草人:赵俊秀、周鹏云。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

---GB/T16945-1997。

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。

GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则

GB/T4842-2006 氩

GB/T5832.1 气体中湿度的测定 电解法

GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法

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