标准编号：GB/T 16943-2009，标准状态：现行。 本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。

本标准代替GB/T16943-1997《电子工业用气体 氦》。

本标准与GB/T16943-1997相比主要变化如下:

---修改氦的适用范围(GB/T16943-1997的第1章,本版的第1章);

---修改规范性引用文件(GB/T16943-1997的第2章,本版的第2章);

---修改技术指标内容:增加一类产品纯度和杂质含量(GB/T16943-1997 的第3 章,本版的第3章);

---修改瓶装氦抽样方法(GB/T16943-1997的4.1,本版的4.1.1);

---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氦产品并规定检验方法(见4.1.1);

---增加管道输送的氦产品并规定检验方法(见4.1.2);

---增加氦的采样安全要求(见4.1.3);

---增加新的分析方法:增加用氦放电离子化气相色谱法测定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳组分;增加其他方法测定总烃含量;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见4.3);

---修改水分的测定方法(GB/T16945-1997的4.5,本版的4.5);

---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16943-1997的第5章,本版的第5章);

---增加安全要求(见5.6);

---增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳组

分的方法写入该附录(见附录A)。

本标准的附录A 为规范性附录。

本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。

本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。

本标准起草单位:西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。

本标准主要起草人:刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

---GB/T16943-1997。

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。

GB190-2009 危险货物包装标志

GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则

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GB7144 气瓶颜色标志

GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法

GB14194 永久气体气瓶充装规定

GB16912 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程

气瓶安全监察规程

压力容器安全监察规程

压力管道安全管理与监察规定

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