标准编号：GB/T 16944-2009，标准状态：现行。 本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。

本标准代替GB/T16944-1997《电子工业用气体 氮》。

本标准与GB/T16944-1997相比主要变化如下:

---修改电子工业用氮的适用范围(GB/T16944-1997的第1章,本版的第1章);

---修改规范性引用文件(GB/T16944-1997的第2章,本版的第2章);

---修改技术指标内容(GB/T16944-1997的第3章,本版的第3章);

---修改电子工业用氮抽样和判定规则(GB/T16944-1997的4.1,本版的4.1);

---增加电子工业用氮采样要求(见4.1.3);

---修改氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.3、4.4、4.6,本版的4.3);

---修改总烃分析方法的检测限(16944-1997的4.7,本版的4.4);

---修改水分含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.5,本版的4.6);

---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16944-1997的第5章,本版的第5章);

---增加规范性附录A,并把测定电子工业用氮中的氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法写入该附录(见附录A)。

本标准的附录A 为规范性附录。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。

本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。

本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

---GB/T16944-1997。

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。

GB190 危险货物包装标志

GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则

GB/T3864 工业氮

GB5099 钢质无缝气瓶(GB5099-1994,neqISO4705:1993)

GB7144 气瓶颜色标志

GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法

GB14194 永久气体气瓶充装规定

GB16912 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程

JB/T5905 真空多层绝热低温液体容器

JB/T6897 低温液体运输车

JB/T6898 低温液体贮运设备使用安全规则

气瓶安全监察规程

压力容器安全技术监察规程

压力管道安全管理与监察规定

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