本规范适用于以几何量表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准

标准编号：JJF 1351-2012

中文名称：扫描探针显微镜校准规范

英文名称：Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes

发布日期：2012-06-18

实施日期：2012-09-18

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局