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YS/T 985-2014 硅抛光回收片 有色金属行业标准(YS)
2014-11-01   发表:

标准编号:YS/T 985-2014 ,标准状态:即将实施。YS/T 985-2014 硅抛光回收片 有色金属行业标准(YS)详细内容。 本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。

本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外,使用方需注意硅回收片的

标准状态: 即将实施
采标情况: SEMI M38-0307,MOD
发布部门: 中华人民共和国工业和信息化部
发布日期: 2014-10-14
实施日期: 2015-04-01
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 2015-04-01

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