标准编号：JJF 1351-2012，标准状态：现行。 本规范适用于以几何量表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准
| 英文名称： | Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： | 2012-06-18 |
| 实施日期： | 2012-09-18 |
| 页数： | 20页 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2012-09-18 |
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