GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范_标准百科

GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

2016-09-09 发表:

标准编号：GB/T 32816-2016 ，标准状态：即将实施。GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范详细内容。

标准状态：	即将实施
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2016-08-29
实施日期：	2017-03-01
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2017-03-01

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