标准编号：YS/T 1164-2016 ，标准状态：即将实施。YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 详细内容。 本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定。
| 标准状态： | 即将实施 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2016-07-11 |
| 实施日期： | 2017-01-01 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
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