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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法
2016-09-04   发表:

标准编号:YS/T 1124-2016 ,标准状态:即将实施。YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法 详细内容。 本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

标准状态: 即将实施
发布部门: 中华人民共和国工业和信息化部
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 2017-01-01

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