标准编号：YS/T 26-2016 ，标准状态：即将实施。YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法 详细内容。 本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
| 标准状态： | 即将实施 |
| 替代情况： | 替代YS/T 26-1992 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2016-07-11 |
| 实施日期： | 2017-01-01 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2017-01-01 |
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