GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则_标准百科

GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则

2012-08-28 发表:

标准编号：GB/T 28274-2012，标准状态：即将实施。

标准状态：	即将实施
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2012-05-11
实施日期：	2012-12-01
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2012-12-01

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