SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件电子行业标准_标准百科

SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件电子行业标准

2012-08-20 发表:

标准编号：SJ 1794-1981，标准状态：现行。

英文名称：	General specification for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing
中标分类：	医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
发布日期：	1981-10-01
实施日期：	1981-10-01
页数：	4页

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