标准编号:GB 4298-1984,标准状态:现行。 本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。
英文名称: | The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials |
中标分类: | 冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法 |
ICS分类: | 29.040.30 |
UDC分类: | 669.782;543.06;621.315.592 |
发布部门: | 国家标准局 |
发布日期: | 1984-03-28 |
实施日期: | 1985-03-01 |
首发日期: | 1984-03-28 |
复审日期: | 2004-10-14 |
提出单位: | 有色金属总公司 |
归口单位: | 中国有色金属工业协会 |
主管部门: | 中国有色金属工业协会 |
起草单位: | 有色金属研究总院 |
起草人: | 周云鹿、章家鼎 |
页数: | 18页 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 1985-03-01 |
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