SJ/Z 2926-1988 集成电路制版设备性能测试方法 电子行业标准(SJ)
2012-08-16 发表:
标准编号：SJ/Z 2926-1988，标准状态：现行。
| 英文名称： | Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs |
| 中标分类： | 医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| 发布日期： | 1988-03-10 |
| 实施日期： | 1988-10-01 |
| 页数： | 20页 |
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