SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语电子行业标准(SJ)_标准百科

SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语电子行业标准(SJ)

2012-08-11 发表:

标准编号：SJ/T 10152-1991，标准状态：现行。

英文名称：	Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies
中标分类：	医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
发布日期：	1991-04-02
实施日期：	1991-07-01
页数：	68页

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