标准编号:YS/T 28-1992,标准状态:现行。 本 标准 规 定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。
本 标 准 适用于硅抛光片和硅外延片的包装。
| 中标分类: | 冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属 |
| ICS分类: | 电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门: | 中国有色金属工业总公司 |
| 发布日期: | 1992-03-09 |
| 实施日期: | 1993-01-01 |
| 提出单位: | 中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
| 起草单位: | 上海第二冶炼厂 |
| 起草人: | 孙瑾 |
| 页数: | 3页 |
| 出版日期: | 1993-01-01 |
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