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YS/T 28-1992 硅片包装 有色金属行业标准(YS)
2012-08-07   发表:

标准编号:YS/T 28-1992,标准状态:现行。 本 标准 规 定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。

本 标 准 适用于硅抛光片和硅外延片的包装。

中标分类: 冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
ICS分类: 电气工程>>29.045半导体材料
发布部门: 中国有色金属工业总公司
发布日期: 1992-03-09
实施日期: 1993-01-01
提出单位: 中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草单位: 上海第二冶炼厂
起草人: 孙瑾
页数: 3页
出版日期: 1993-01-01
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