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SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件 电子行业标准(SJ)
2012-07-31   发表:

标准编号:SJ/T 10478-1994,标准状态:现行。

英文名称: General specification for magnetic sputtering equipment
中标分类: 医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
发布日期: 1994-04-11
实施日期: 1994-10-01
页数: 11页
出版社: 电子工业部标准化研究
出版日期: 2004-04-18

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