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GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 国家标准(GB)
2012-07-18   发表:

标准编号:GB/T 16596-1996,标准状态:现行。 本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点,可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。

英文名称: Specification for establishing a wafer coordinate system
中标分类: 冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类: 电气工程>>29.045半导体材料
采标情况: SEMI M20-92
发布部门: 国家技术监督局
发布日期: 1996-01-01
实施日期: 1997-04-01
首发日期: 1996-11-04
复审日期: 2004-10-14
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门: 国家标准化管理委员会
起草单位: 中国有色金属工业总公司
页数: 平装16开, 页数:6, 字数:6千字
出版社: 中国标准出版社
书号: 155066.1-13651
出版日期: 1997-04-01
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