标准编号：GB/T 16878-1997，标准状态：现行。 本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。
| 英文名称： | Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备 |
| ICS分类： | 电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 采标情况： | SEMI P19-1992,IDT |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1997-06-20 |
| 实施日期： | 1998-03-01 |
| 首发日期： | 1997-06-20 |
| 复审日期： | 2004-10-14 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： | 中国科学院缩微电子中心 |
| 页数： | 平装16开， 页数：14， 字数：24千字 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 书号： | 155066.1-14349 |
| 出版日期： | 2004-04-11 |
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