标准编号：SJ/T 11181-1998，标准状态：现行。
| 英文名称： | General specification for resist-coating stage with purified room |
| 中标分类： | 医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| ICS分类： | 电子学>>31.020电子元件综合 |
| 发布日期： | 1998-03-11 |
| 实施日期： | 1998-05-01 |
| 页数： | 9页 |
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