标准编号：GB/T 17864-1999，标准状态：现行。 本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题，也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。
| 英文名称： | CD Metrology procedures |
| 替代情况： | GB/T 9043-1988 |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路 |
| ICS分类： | 电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 采标情况： | idt SEMI P24:1994 |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局 |
| 发布日期： | 1999-09-01 |
| 实施日期： | 2000-06-01 |
| 首发日期： | 1999-09-13 |
| 复审日期： | 2004-10-14 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： | 中国科学院微电子中心 |
| 页数： | 平装16开， 页数：10， 字数：15千字 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 书号： | 155066.1-16386 |
| 出版日期： | 2004-08-22 |
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