本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

英文名称：	Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
中标分类：	电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
ICS分类：	电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2011-01-10
实施日期：	2011-10-01
提出单位：	全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
归口单位：	全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
主管部门：	全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位：	天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院
起草人：	胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥
页数：	16页
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2011-10-01

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院。 本标准主要起草人:胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。

引用标准

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T26111 微机电系统(MEMS)技术 术语

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