| 本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。 |
| 英文名称： | Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics |
| 中标分类： | 机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
| ICS分类： | 流体系统和通用件>>23.160真空技术 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2010-12-23 |
| 实施日期： | 2011-10-01 |
| 归口单位： | 全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
| 主管部门： | 全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
| 起草单位： | 北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所 |
| 起草人： | 邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影 |
| 页数： | 16页 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-10-01 |
| 前言 |
| 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。 |
| 引用标准 |
| 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T3163 真空技术 术语(GB/T3163—2007,ISO3529:1981,MOD) |
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