本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。

英文名称：	Silver target
中标分类：	冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
ICS分类：	冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2011-01-14
实施日期：	2011-11-01
归口单位：	全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
主管部门：	全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位：	北京有研亿金新材料股份有限公司
起草人：	闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩
页数：	12页
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2011-11-01

前言

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人:闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。

引用标准

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T4135 银 GB/T6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T11067 银化学分析方法 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

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