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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵 机械行业标准(JB)
2012-04-11 发表:
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
替代情况：
替代JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
发布部门：
中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：
2011-12-20
实施日期：
2012-04-01
出版社：
机械工业出版社
出版日期：
2012-04-01
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