标准编号:YS/T 791-2012 ,标准状态:即将实施。 本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材,其他用途的铂靶材也可参照使用。
| 标准状态: | 即将实施 |
| 发布部门: | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期: | 2012-11-07 |
| 实施日期: | 2013-03-01 |
| 出版社: | 中国标准出版社 |
| 出版日期: | 2013-03-01 |
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